【10505005】CVD中尘埃颗粒对薄膜生长影响的物理机理的研究国家自然基金项目 - 国家自然科学基金查询网

CVD中尘埃颗粒对薄膜生长影响的物理机理的研究

项目批准号： 10505005

批准年份： 2005

学科分类： A2902.等离子体与物质相互作用

项目负责人：张鹏云

资助类别：青年科学基金项目

负责人职称：副教授

依托单位：大连理工大学

资助金额： 24万元

关键词： SiC薄膜;能量沉积;动量转换;尘埃等离子体

起止时间： 2006-01-01到2008-12-31

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序号	标题	类型	作者
1	Dust void formation in complex plasmas with two various sizes of dust grains	期刊论文
2	尘埃颗粒与等离子体鞘层相互作用的数值模拟	期刊论文
3	尘埃等离子体的实验研究	会议论文
4	射频对非平衡磁控溅射沉积Cu膜的影响	期刊论文
5	Formation and diagnosis of Dust Particles in a Radio-Frequency(RF) SiH4/C2H4/Ar discharge	期刊论文
6	Cu films deposited by unbalanced magnetron sputtering enhanced by ICP and magnetic field confinement	期刊论文
7	Optical emission spectroscopic studies of ICP Ar plasma	期刊论文
8	Experimental study on dust plasma’s parameters in the SiH4/C2H4/Ar discharge	期刊论文
9	Numerical Simulation of Dust Void Evolution in Complex Plasmas with Ionization Effect	期刊论文
10	A nonlinear theory of dust voids in cylindrical geometry	期刊论文
11	Numerical Simulation of Dust Void Evolution in Complex Plasmas with Ionization Effect	期刊论文

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