基于跨尺度关联的大口径多层介质膜光栅制作无损检测

11375175
2013
A3010.核技术在其它领域中的应用
徐向东
面上项目
高级工程师
中国科学技术大学
96万元
全息光刻;多层介质膜光栅;离子束刻蚀;多尺度;无损检测
2014-01-01到2017-12-31
  • 中英文摘要
  • 结题摘要
  • 结题报告
  • 项目成果
  • 项目参与人
查看更多信息请先登录或注册
查看更多信息请先登录或注册
查看更多信息请先登录或注册
重置
序号 标题 类型 作者
1 弯月面涂胶及其胶厚均匀性的测量 期刊论文 林继平;梁榉曦;刘正坤;王庆博;宝剑光;洪义麟;付绍军
2 用于太空望远镜的大口径薄膜菲涅尔衍射元件 期刊论文 张健;栗孟娟;阴刚华;焦建超;刘正坤;徐向东;付绍军
3 Low-cost method of fabricating large-aperture, high efficiency, Fresnel diffractive membrane optic using a modified moire technique 期刊论文 Zhang Jian;Li Mengjuan;Yin Ganghua;Jiao Jianchao;Liu Zhengkun;Xu Xiangdong;Fu Shaojun
4 Algorithms for finely adjusting etch depths to improve the diffraction efficiency uniformity of large-aperture BSG 期刊论文 Wu Lixiang;Qiu Keqiang;Liu Ying;Fu Shaojun
5 Finely control groove-depth variations of large-area diffraction gratings 会议论文 Wu Lixiang;Qiu Keqiang;Jiang Xiaolong;Zheng Yanchang;Xu Xiangdong;Hong Yilin;Fu Shaojun
6 弯月面涂胶均匀性改进 期刊论文 林继平;刘正坤;洪义麟;蒋晓龙;邱克强;刘颖;徐向东;付绍军
7 Fabrication of large-aperture and high efficiency Fresnel diffractive membrane optic using a self-aligned method 期刊论文 Zhang Jian;Li Mengjuan;Yin Ganghua;Jiao Jianchao;Liu Zhengkun;Xu Xiangdong;Fu Shaojun
8 Structural color analysis of the photoresist grating influenced by the light source and its parameters 期刊论文 Zeng Siwei;Liu Zhengkun;Qiu Keqiang;Liu Ying;Xu Xiangdong;Fu Shaojun
查看更多信息请先登录或注册

相关项目

趋势报告

经验分享