基于偏振角分辨光谱分析的超薄膜在线测量方法与理论研究
52075206
2020
E0511.机械测试理论与技术
王健
面上项目
副研究员
华中科技大学
58万元
多层/多维结构；表征与测量；角分辨光谱；误差抑制；在线原位测量
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