连续垂直扫描调制结构照明表面形貌高精度测量技术与系统研究
51975233
2019
E0511.机械测试理论与技术
刘晓军
面上项目
教授
华中科技大学
62万元
光学检测；结构照明显微镜；表面形貌；相位调制；精密测量
2020-01至2023-12
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