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刘祖黎
面上项目
项目编号:
19775016 【年份:1997】
项目名称:
低温等离子体中离子输运特性对薄膜生长的影响
资助金额:
11万
单位名称:
华中科技大学
学科分类:
A2902.等离子体与物质相互作用
参与者:
华中科技大学
低温等离子体中离子输运特性对薄膜生长的影响
项目批准号:
19775016
批准年份:
1997
学科分类:
A2902.等离子体与物质相互作用
项目负责人:
刘祖黎
资助类别:
面上项目
负责人职称:
教授
依托单位:
华中科技大学
资助金额:
11万元
关键词:
薄膜生长;离子输运特性;低温等离子体
起止时间:
1998-01-01到2000-12-31
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