低温等离子体中离子输运特性对薄膜生长的影响

19775016
1997
A2902.等离子体与物质相互作用
刘祖黎
面上项目
教授
华中科技大学
11万元
薄膜生长;离子输运特性;低温等离子体
1998-01-01到2000-12-31
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