等离子体与硅粉薄层的反应动力学研究

19575020
1995
A2902.等离子体与物质相互作用
何笑明
面上项目
副教授
华中科技大学
8万元
等离子体表面反应;太阳能电池;新材料制备
1996-01-01到1998-12-31
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