大功率射频离子源调频模式下射频系统可靠性分析与优化
11705063
2017
A2907.低温等离子体
李冬
青年科学基金项目
副教授
华中科技大学
25万元
射频功率耦合;射频线圈;感性耦合等离子体;四极管;阻抗匹配
2018-01-01到2020-12-31
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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|---|---|---|
| 1 | RF simulation and improvements of an ion source test facility at HUST | 期刊论文 | Zhao Peng;Li Dong;Chen Dezhi;Zuo Chen;Li Xiaofei;Fan Mingwu |
| 2 | Electromagnetic and Thermal Analyses of Faraday Shield of Various Materials and Structures for an ICP Source | 会议论文 | Chen Peng;Li Dong;Chen Dezhi;Song Fei;Zuo Chen;Zhao Peng;Lei Guangjiu |
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