粉尘在等离子体中沉降时的刻蚀动力学研究
10475029
2004
A2902.等离子体与物质相互作用
尹盛
面上项目
副教授
华中科技大学
32万元
离子鞘层;刻蚀速率;粉尘等离子体;等离子体刻蚀
2005-01-01到2007-12-31
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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|---|---|---|
| 1 | 粉尘等离子体的研究 | 期刊论文 | 尹盛*，赵亮，李战春 |
| 2 | 硅粉在冷等离子体中的刻蚀纯化 | 期刊论文 | 王家鑫，尹盛*，王飞 |
| 3 | 平板电极间鞘层离子刻蚀速率计算 | 期刊论文 | |
| 4 | 硅粉在直流氩等离子体中的刻蚀提 | 期刊论文 | 尹盛*，王敬义，李战春 |
| 5 | 等离子振动反应室的研究 | 期刊论文 | 赵亮，尹盛*，王敬义 |
| 6 | 冷等离子体中的粉体研究 | 期刊论文 | |
| 7 | 硅粉在带振动阴极反应室中的刻蚀 | 期刊论文 | |
| 8 | 直流氩等离子体硅粉纯化工艺的研 | 期刊论文 | 王飞，尹盛*，王家鑫 |
| 9 | 一种新型反应室的分析与实验 | 期刊论文 | 尹盛*，王敬义，赵亮 |
| 10 | 硅粉粒在带直立平板电极反应室中 | 期刊论文 | 李战春*，尹盛，赵伯芳 |
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