无线无源单晶FBAR传感器关键技术研究
61801158
2018
F0123.敏感电子学与传感器
轩伟鹏
青年科学基金项目
教授
杭州电子科技大学
24万元
薄膜体声波谐振器;压电晶体;压电谐振;无线无源;单晶
2019-01-01到2021-12-31
- 中英文摘要
- 结题摘要
- 结题报告
- 项目成果
- 项目参与人
查看更多信息请先登录或注册
查看更多信息请先登录或注册
查看更多信息请先登录或注册
| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|---|---|---|
| 1 | 一种无源空腔型单晶薄膜体声波谐振器结构及制备方法 | 专利 | 董树荣;轩伟鹏;金浩;骆季奎 |
| 2 | 电极带环槽及条状凸起的单晶薄膜体声波谐振器制备方法 | 专利 | 轩伟鹏;石林豪;董树荣;金浩;骆季奎;李文钧;孙玲玲 |
| 3 | 具有掺杂氧化物金属渐变层的耐高温电极及其制备方法 | 专利 | 轩伟鹏;章弥灵;陈金凯;董树荣;金浩;骆季奎 |
| 4 | Ultrathin single-crystalline LiNbO 3 film bulk acoustic resonator for 5G communication | 期刊论文 | Zijing Fang;Hao Jin;Shurong Dong;Leihe Lu;Weipeng Xuan;Jikui Luo |
| 5 | Single-Crystalline LiTaO₃ Film-Based High-Frequency Surface Acoustic Wave Resonators and Electronics Applications | 期刊论文 | He Xingli;Zhou Jian;Xuan Weipeng;Zhan Zhengjia;Zhang Yunjing;Li Peng;Kong Linghui |
| 6 | A langasite surface acoustic wave wide-range temperature sensor with excellent linearity and high sensitivity | 期刊论文 | Xu Hongsheng;Jin Hao;Dong Shurong;Chen Jinkai;Song Xinyu;Xuan Weipeng;Shi Lin;Huang Shuyi;Zhang Pengjun;Luo Jikui |
| 7 | Bulk acoustic wave resonator based wireless and passive pressure sensor | 期刊论文 | Xuan Weipeng;Chen Jin;Wu Ting;Chen Jinkai;Huang Xiwei;Dong Shurong;Wang Xiaozhi;Jin Hao;Luo Jikui |
| 8 | 一种空腔型薄膜体声波谐振器封装结构及其制备方法 | 专利 | 董树荣;轩伟鹏;刘刚;张洪;金浩;骆季奎 |
| 9 | 一种单晶薄膜体声波谐振器的制备方法 | 专利 | 轩伟鹏;张标;董树荣;金浩;骆季奎 |
| 10 | Conjunction of triboelectric nanogenerator with induction coils as wireless power sources and self-powered wireless sensors | 期刊论文 | Zhang Chi;Chen Jinkai;Xuan Weipeng;Huang Shuyi;You Bin;Li Wenjun;Sun Lingling;Jin Hao;Wang Xiaozhi;Dong Shurong;Luo Jikui;Flewitt A. J.;Wang Zhong Lin |
| 11 | 一种可提高薄膜体声波谐振器品质因子Q值的结构 | 专利 | 董树荣;轩伟鹏;刘刚;金浩;骆季奎;刘舒婷 |
| 12 | 电极设有双环形与桥型结构的薄膜体声波谐振器制备方法 | 专利 | 轩伟鹏;张标;石林豪;董树荣;金浩;骆季奎;李文钧;孙玲玲 |
| 13 | Time Domain Analysis of 3-D Microwave Film Bulk Acoustic Resonator Based on Electro-Mechanical Coupling Algorithm | 期刊论文 | Chen Shitao;Yin Qiupeng;Wang Wei;Chen Ming;Xuan Weipeng;Huang Zhixiang;Yu Ming |
| 14 | 一种基于SAW无线无源传感系统的运动部件参数测量方法 | 专利 | 董树荣;苏秋成;轩伟鹏;金浩;陈金凯;许红升;宋心雨;骆季奎 |
| 15 | 一种基于多孔硅的自支撑空气隙型体声波谐振器及其制备方法 | 专利 | 董树荣;卢雷贺;骆季奎;金浩;轩伟鹏 |
| 16 | 一种薄膜体声波谐振器的封装方法 | 专利 | 董树荣;轩伟鹏;金浩;骆季奎 |
| 17 | 具有双环形结构电极的单晶薄膜体声波谐振器制备方法 | 专利 | 轩伟鹏;张标;石林豪;董树荣;金浩;骆季奎;李文钧;孙玲玲 |
| 18 | 一种采用金属键合工艺制备薄膜体声波谐振器的方法 | 专利 | 轩伟鹏;张标;董树荣;金浩;骆季奎 |
| 19 | 一种耐高温的声表面波传感器叉指电极及其制备方法 | 专利 | 轩伟鹏;章弥灵;陈金凯;董树荣;金浩;骆季奎 |
| 20 | Single Crystal Bulk Acoustic Resonator for 5 GHz and High-Power Applications | 期刊论文 | Lu Leihe;Jin Hao;Dong Shurong;Xuan Weipeng;Fang Zijing;Luo Jikui |
| 21 | 一种无源空腔型单晶FBAR与有源GaN HEMT的单片异质异构集成结构 | 专利 | 董树荣;轩伟鹏;金浩; 骆季奎 |
| 22 | Numerical Investigation of Phononic Crystal Based Film Bulk Acoustic Wave Resonators | 期刊论文 | Shi Linhao;Xuan Weipeng;Zhang Biao;Dong Shurong;Jin Hao;Luo Jikui |
| 23 | Analytical Study of the Film Bulk Acoustic Resonators Based on Single Crystal LiNbO3 with Different Crystal Orientations | 期刊论文 | Xuan Weipeng;Gao Feng;He Xingli;Wu Ting;Chen Jinkai;Jin Hao;Dong Shurong;Wang Xiaozhi;Luo Jikui |
| 24 | 基于声子晶体的薄膜体声波谐振器 | 专利 | 轩伟鹏;石林豪;张标;董树荣;金浩;骆季奎 |
| 25 | 采用改进工艺制备单晶薄膜体声波谐振器及滤波器的方法 | 专利 | 董树荣;轩伟鹏;金浩;骆季奎 |
| 26 | 一种激光剥离方式制备单晶薄膜体声波谐振器的方法 | 专利 | 董树荣;轩伟鹏;刘刚;金浩;骆季奎;刘舒婷 |
查看更多信息请先登录或注册
