基于频闪散射照明下数字散斑技术的MEMS运动特性测试方法
50505031
2005
E0512.微纳机械系统
胡晓东
青年科学基金项目
教授
天津大学
26万元
微机电系统;频闪散射照明;数字散斑相关;运;电子散斑显微干涉
2006-01-01到2008-12-31
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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|---|---|---|
| 1 | 基于多质心相对位置不变性的测量微结构旋转运动方法 | 专利 | 胡晓东; 傅星; 胡小唐 |
| 2 | 三维相位展开算法在精密运动测试中的应用 | 期刊论文 | 栗大超|胡晓东|郭彤|胡小唐|胡春光| |
| 3 | Measuring in-plane and out-of-plane coupled motions of microstructures by stroboscopic microscopic interferometry | 期刊论文 | Hu, Chunguang|Guo, Tong|Chen, Zhi|Hu, Xiaodong|Hu, Xiaotang| |
| 4 | 透明封装介质下微器件的表面形貌测量系统与方法 | 专利 | 胡晓东; 郭彤; 傅星; 胡小唐 |
| 5 | 基于块匹配的MEMS平面纳米精度运动测量 | 期刊论文 | 胡晓东|陈治|胡小唐|傅星| |
| 6 | MEMS微结构旋转角度的快速测量方法 | 期刊论文 | 胡晓东|陈治|孙彬|李晓俊|胡小唐| |
| 7 | Long-working-distance Linnik microscopic interferometry for measuring the surface profile of microstructures | 期刊论文 | Xiaodong Hu|Wenan Wang|Shujuan Deng|Xiaotang Hu| |
| 8 | 纳米精度MEMS平面运动测量技术 | 期刊论文 | 傅星|高思田|陈治|胡晓东|胡小唐| |
| 9 | 数字散斑相关技术在微结构平面运动测试的应用 | 期刊论文 | 陈治|田淑英|胡小唐|胡晓东| |
| 10 | 基于傅里叶干涉法的微结构离面运动测量 | 期刊论文 | 胡晓东|刘钢|胡春光|齐浩|胡小唐| |
| 11 | MEMS Test System Based on Virtual Instrument Technology | 期刊论文 | HU Chunguang|LI Dachao|GUO Tong|HU Xiaodong|HU Xiaotang| |
| 12 | 基于相位相关技术的MEMS旋转角度的高分辨力测量方法 | 期刊论文 | 朱洪程|胡晓东|陈治|胡小唐| |
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