HEMT中掺C半绝缘GaN缓冲层的制备及掺杂机制的研究

61804044
2018
F0401.半导体材料
李珣
青年科学基金项目
讲师
河北工业大学
24万元
氮化镓;高电子迁移率晶体管;碳掺杂;III-V族半导体单晶;外部气体源
2019-01-01到2021-12-31
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序号 标题 类型 作者
1 一种具有渐变高电阻率的氮化镓半绝缘缓冲层及制备方法 专利 李珣
2 小切角衬底上 4H-SiC 同质外延薄膜的形貌 期刊论文 李珣;朱松冉;姜霞
3 Properties of carbon-doped GaN using isobutane as a dopant 会议论文 Xun Li;Songran Zhu
4 Optical properties of AlGaN/GaN epitaxial layers grown on different face GaN substrates 期刊论文 Xun Li;Carl Hemmingsson;Urban Forsberg;Erik Janzén;Galia Pozina
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