等离子体处理实现β-Ga2O3表面氧空位缺陷与非晶化调控及其对深紫外光探测特性的影响
11975093
2019
A2902.等离子体与物质相互作用
卢寅梅
面上项目
副教授
湖北大学
65万元
等离子体与材料相互作用；β-Ga2O3 薄膜；氧空位；非晶化；深紫外光探测
2020-01至2023-12
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