基于微机电系统微波可调阻抗匹配网络研究
62074086
2020
F0407.微纳机电器件与控制系统
郭兴龙
面上项目
副教授
南通大学
53万元
RF MEMS可重构网络；RF MEMS单芯片系统；绝缘体上硅；缺陷地结构
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