基于白光扫描干涉术的超精密表面几何参数大范围快速测量方法
51205397
2012
E0512.微纳机械系统
马龙
青年科学基金项目
副教授
中国民航大学
25万元
白光扫描干涉术;双角度;变速;超精密元件;倾斜扫描
2013-01-01到2015-12-31
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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|---|---|---|
| 1 | 磁强计辅助MEMS惯性器件的新型数据融合算法 | 期刊论文 | 马龙|张锐|苏志刚| |
| 2 | Microstructure Large Scale Surface Evaluation Based on White Light Interferometry | 会议论文 | |
| 3 | 基于白光扫描干涉术的非球面光学元件大范围评价方法 | 期刊论文 | 马龙|张鸿燕|牛一凡|郭彤| |
| 4 | 基于软核MicroBlaze的小型姿态检测系统设计 | 期刊论文 | 苏志刚|张锐|马龙| |
| 5 | Measurement of Step Height Using White Light Spectral Interferometry | 期刊论文 | Ma Long|Chen Jinping|Fu Xing|Hu Xiaotang| |
| 6 | 基于白光扫描干涉术的非球面光学元件大范围评价方法 | 期刊论文 | 马龙|张鸿燕|牛一凡|郭彤| |
| 7 | 微结构低重叠度大范围三维拼接方法 | 期刊论文 | 张鸿燕|牛一凡|郭彤|雷李华| |
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