高气压微波等离子体中电场的测量与调控及其对单晶金刚石生长的影响
11575134
2015
A2903.等离子体诊断技术
马志斌
面上项目
教授
武汉工程大学
73万元
电场;高气压微波等离子体;光谱诊断;单晶金刚石
2016-01-01到2019-12-31
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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|---|---|---|
| 1 | CVD单晶金刚石的二维扩大方法 | 专利 | 马志斌;吴超;黄宏伟;张田田;宋修曦 |
| 2 | MPCVD 法中氮气对单晶金刚石生长机理影响的探究 | 期刊论文 | 夏禹豪;耿传文;衡凡;李方辉;马志斌 |
| 3 | 温度对 MPCVD法同质外延单晶金刚石缺陷的影响 | 期刊论文 | 丁康俊;马志斌;宋修曦;夏禹豪;耿传文 |
| 4 | MPCVD中双基片台结构对单晶金刚石生长的影响 | 期刊论文 | 夏禹豪;李艳春;耿传文;李方辉;马志斌 |
| 5 | MPCVD中双基片结构对等离子体的影响研究 | 期刊论文 | 丁康俊;马志斌;黄宏伟;宋修曦;任昱霖 |
| 6 | Development of a plate-to-plate MPCVD reactor configuration for diamond synthesis | 期刊论文 | Zhibin Ma;Chao Wu;Jianhua Wang;Hongyang Zhao;Lei Zhang;Qiuming Fu;Chuanxin Wang |
| 7 | 低浓度氮气对单晶金刚石生长质量的影响 | 期刊论文 | 耿传文;马志斌;夏禹豪;李艳春;衡凡 |
| 8 | 晶面取向对同质外延单晶金刚石生长的影响 | 期刊论文 | 宋修曦;马志斌;丁康俊;陈建丽;耿鹏 |
| 9 | 单晶金刚石边缘表面倾斜角度对同质外延生长的影响 | 期刊论文 | 耿传文;夏禹豪;赵洪阳;付秋明;马志斌 |
| 10 | 一种提高金刚石生长过程中二次形核的方法 | 专利 | 马志斌;李艳春;耿传文;夏禹豪;李方辉;衡凡 |
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