ArF准分子激光薄膜偏振效应控制技术研究
序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
---|---|---|---|
1 | 一种减反射膜的制备方法及大角度入射减反膜 | 专利 | 邓文渊;金春水;靳京城;李春 |
2 | UV光的应用方法及UV光薄膜处理应用装置 | 专利 | 邓文渊;金春水;靳京城;李春 |
3 | CaF2光学薄膜元件的制备方法及CaF2光学薄膜元件 | 专利 | 邓文渊;金春水;靳京城;李春 |
4 | 测量光学薄膜厚度或均匀性的方法 | 专利 | 姚舜;喻波;靳京城 |
5 | Phase transition analysis of thermochromic VO 2 thin films by temperature- dependent Raman scattering and ellipsometry | 期刊论文 | Ying Huang;Dongping Zhang;Yi Liu;Jingcheng Jin;Yu Yang;Huan Guan;Ping Fan;Weizhong Lv |
6 | 一种制备多层膜元件过程中非灵敏层误差控制方法及装置 | 专利 | 靳京城;李春;邓文渊;金春水 |