超大数值孔径正交位相光栅横向剪切干涉关键技术基础研究

61205164
2012
F0508.应用光学
刘克
青年科学基金项目
副研究员
北京理工大学
28万元
剪切干涉;波前重建;波像差测量;系统误差校准;超大数值孔径物镜
2013-01-01到2015-12-31
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