基于MEMS工艺的面内全向压电驻极体微结构设计及其在振动传感器中的应用研究

51607007
2016
E0702.超导与电工材料
冯跃
青年科学基金项目
副教授
北京理工大学
21万元
驻极体极化;制备与性能;取向排列;压电驻极体;多孔电介质
2017-01-01到2019-12-31
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