【60578001】基于外差干涉测量技术的严格光栅拼接方法国家自然基金项目 - 国家自然科学基金查询网

基于外差干涉测量技术的严格光栅拼接方法

项目批准号： 60578001

批准年份： 2005

学科分类： F0508.应用光学

项目负责人：曾理江

资助类别：面上项目

负责人职称：教授

依托单位：清华大学

资助金额： 25万元

关键词：外差干涉;光栅拼接;光栅

起止时间： 2006-01-01到2008-12-31

中英文摘要
结题摘要
结题报告
项目成果
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序号	标题	类型	作者
1	Optical mosaic gratings made by consecutive, phase-interlocked, holographic exposures using diffraction from latent fringes	期刊论文
2	Measurement of period difference in grating pair based on analysis of far-field intensity patterns	期刊论文
3	Method to mosaic gratings that relies on analysis of far-field intensity patterns in two wavelengths	期刊论文
4	Heterodyne interferometric method for reducing stray light induced uncertainty in grating diffraction efficiency measurement	期刊论文
5	Analyzing the grating profile parameters based on scanning –electron microscope image	期刊论文
6	Grating mosaic based on image processing of far-field diffraction intensity patterns in two wavelengths	期刊论文
7	Position detection in grating mosaic based on image processing of far-field diffraction intensity patterns in two wavelengths	会议论文

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