高性能硫化锌亚波长抗反射微结构的飞秒激光制造方法研究

52005520
2020
E0509.加工制造
张帆
青年科学基金项目
副教授
中南大学
24万元
飞秒激光;激光微细加工;硫化锌;亚波长;抗反射
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