创新型高速纳米测量微型探头机理的研究
50275048
2002
E0511.机械测试理论与技术
范光照
面上项目
教授
合肥工业大学
28万元
自动聚焦探头.;闭环控制;磁滞误差修正.
2003-01-01到2005-12-31
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