纳米三座标测量机关键技术的研究

50175024
2001
E0511.机械测试理论与技术
余晓芬
面上项目
教授
合肥工业大学
26万元
表面探测.;六自由度微位移动;纳米测量.
2002-01-01到2004-12-31
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