面向海空重力测量的高精度硅谐振梁加速度计研究

41774189
2017
D0414.地球和行星物理实验与仪器
韩丰田
面上项目
研究员
清华大学
69万元
长期稳定性;海空重力测量;谐振梁加速度计;误差建模与补偿;温漂抑制
2018-01-01到2021-12-31
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序号 标题 类型 作者
1 Temperature-drift characterization of a micromachined resonant accelerometer with a low-noise frequency readout 期刊论文 Fang Zhengxiang;Yin Yonggang;He Xiaofei;Han Fengtian;Liu Yunfeng
2 HIGH-YIELD TRIPLE-STACK BONDING FABRICATION PROCESS FOR MICROMACHINED MICROMOTORS WITH CONTACTLESS ROTOR 会议论文 孙搏谦;王顺月;谈宜东;韩丰田
3 MEMS加速度计 专利 尹永刚;韩丰田;方政翔;吴秋平;董景新;刘云峰
4 带有片上温控的微谐振式加速度计及微谐振装置 专利 方政翔;韩丰田;尹永刚;吴秋平;董景新;刘云峰
5 硅微谐振加速度计的模态分析与实验 期刊论文 张秀丽;何晓飞;尹永刚;方政翔;韩丰田
6 A sensitive micromachined resonant accelerometer for moving-base gravimetry 期刊论文 Fang Zhengxiang;Yin Yonggang;Chen Chen;Zhang Shujuan;Liu Yunfeng;Han Fengtian
7 Temperature-Insensitive Structure Design of Micromachined Resonant Accelerometers 期刊论文 Yin Yonggang;Fang Zhengxiang;Liu Yunfeng;Han Fengtian
8 Analysis and Compensation of Bias Drift for a Micromachined Spinning-Rotor Gyroscope with Electrostatic Suspension 期刊论文 Wang Shunyue;Han Fengtian
9 A Temperature-insensitive Micromachined Resonant Accelerometer with Thermal Stress Isolation 会议论文 Yin Yonggang;Fang Zhengxiang;Dong Jingxin;Liu Yunfeng;Han Fengtian
10 Rotation control of a variable-capacitance electrostatic motor for space equivalence principle tests with rotating masses 期刊论文 Liu T. Y.;Wang S. Y.;Han F. T.;Wu Q. P.
11 Low-Noise Drive of a Micromachined Resonant Accelerometer with Separated Sensing and Actuation 会议论文 Fang Zhengxiang;Yin Yonggang;Liu Yunfeng;Han Fengtian
12 Design and test of a micromachined resonant accelerometer with high scale factor and low noise 期刊论文 Yin Yonggang;Fang Zhengxiang;Han Fengtian;Yan Bin;Dong Jingxin;Wu Qiuping
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