基于铜纳米孪晶的三维集成封装层间互连低温形成机理

51605498
2016
E0512.微纳机械系统
陈卓
青年科学基金项目
副教授
中南大学
20万元
三维集成封装;键合界面;热超声倒装键合;互连
2017-01-01到2019-12-31
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