用于集成电路制造的下一代导向自组装光刻技术
61974030
2019
F0406.集成电路器件、制造与封装
熊诗圣
面上项目
研究员
复旦大学
59万元
混合光刻；导向自组装；嵌段共聚物；十纳米以下
2020-01至2023-12
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