基于扫描探针显微镜技术的高性能锡基氧化物薄膜晶体管电荷传输机理研究

62004227
2020
F0404.半导体电子器件与集成
吴倩
青年科学基金项目
副教授
中山大学
24万元
薄膜晶体管;扫描探针显微镜;四探针法测试;载流子迁移率;开尔文探针力显微镜
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