阵列式多束电子显微镜的离轴像差和空间电荷效应计算方法研究
62071372
2020
F0122.物理电子学
康永锋
面上项目
教授
西安交通大学
57万元
扫描电子显微镜；多束电子光学；离轴像差；空间电荷效应；微分代数方法
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