用掠角沉积新技术定向生长硅纳米线的研究
60444009
2004
F0405.半导体器件物理
朱美芳
专项基金项目
教授
中国科学院大学
6万元
掠角沉积;热催化化学气相沉积;硅纳米线阵列..
2005-01-01到2005-12-31
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