SOI埋氧层应力对高灵敏微悬臂梁制作的影响机理研究
51205375
2012
E0512.微纳机械系统
刘勇
青年科学基金项目
高级工程师
中国电子科技集团公司第十六研究所
25万元
SOI;埋氧层;微悬臂梁;应力;MEMS
2013-01-01到2015-12-31
- 中英文摘要
- 结题摘要
- 结题报告
- 项目成果
- 项目参与人
查看更多信息请先登录或注册
查看更多信息请先登录或注册
查看更多信息请先登录或注册
| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|---|---|---|
| 1 | 高阻硅衬底集总参数功分器设计 | 期刊论文 | 刘勇|陈兴国|王光池|刘建勇| |
| 2 | 系统集成中的高阻硅IPD技术 | 期刊论文 | 刘勇| |
| 3 | 电阻率对硅衬底微波传输特性影响分析 | 期刊论文 | 刘勇| |
| 4 | 一种P波段数字阵列模块的设计 | 期刊论文 | 姚波|胡善祥|刘勇| |
查看更多信息请先登录或注册
