高深宽比纳米结构的可控毛细力自组装机理与应用研究

61504001
2015
F0406.集成电路器件、制造与封装
魏淑华
青年科学基金项目
副教授
北方工业大学
21万元
电子束光刻;自组装;高深宽比纳米结构;纳米加工;毛细力
2016-01-01到2018-12-31
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序号 标题 类型 作者
1 Study of CoTa alloy as barrier layer for Cu/low-k interconnects 期刊论文 Wang Xu;Liu Lin Tao;He Peng;Qu Xin Ping;Zhang Jing;Wei Shuhua;Mankelevich Yuri A;Baklanov Mikhail R
2 Mechanism and Application of Capillary-force Self-assembly Micro/nanofabrication 会议论文 Wei Shuhua;Qin Minglong;Zhang Jing
3 Influence of Current Density on Orientation-Controllable Growth and Characteristics of Electrochemically Deposited Au Films 期刊论文 Lintao Liu;Xiaoli Zhu;Shuhua Wei;Jing Zhang;Mikhail R. Baklanov;Alice Bastos da Silva Fanta;Jiebin Niu;Changqing Xie
4 Effect of pulse current density on gold nanograin growth in sulfite electrolyte-based electrochemical deposition 会议论文 Lintao Liu;Xiaoli Zhu;Shuhua Wei;Jing Zhang;Changqing Xie
5 一种检测氟吡菌酰胺的时间分辨荧光试纸条及其应用 专利 魏淑华;王晓磊
6 Effect of terminal methyl groups concentration on properties of organosilicate glass low dielectric constant films 期刊论文 Liu Chunhui;Qi Qi;Seregin Dmitry S.;Vishnevskiy Alexey S.;Wang Yingjie;Wei Shuhua;Zhang Jing;Vorotilov Konstantin A.;Dultsev Fedor N.;Baklanov Mikhail R.
7 高k HfO_2栅介质淀积后退火工艺研究 期刊论文 刘倩倩;魏淑华;杨红;张静;闫江
8 Optimization of the particle density to maximize the SERS enhancement factor of periodic plasmonic nanostructure array 期刊论文 SHUHUA WEI;MENGJIE ZHENG;QUAN XIANG;HAILONG HU;HUIGAO DUAN
9 一种2.5 D叉指电极制作方法和叉指电极 专利 孟庆一;魏淑华
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