具有曲率突变特征微结构的触针斜率自适应形貌测量方法研究
51405314
2014
E0512.微纳机械系统
许斌
青年科学基金项目
副教授
四川大学
28万元
形貌测量;曲率突变;微探针;动态特性;微结构
2015-01-01到2017-12-31
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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|---|---|---|
| 1 | 基于机器视觉的半球面微小孔位置的精密测量系统(英文) | 期刊论文 | 黄劼;许斌 |
| 2 | 一种用于微结构工件的斜率自适应形貌测量方法 | 专利 | 许斌;尹德强;方辉;刘乾乾 |
| 3 | 微球探针激光快速加工成形系统设计 | 期刊论文 | 唐海容;许斌;赵世平 |
| 4 | 数控机床热误差及其抑制与补偿 | 专著 | 方辉;许斌;阳红 |
| 5 | 接触式扫描过程中探针-样品赫兹耦合的建模与分析 | 期刊论文 | 陈伟;许斌;赵世平 |
| 6 | 一种微探针加工成形系统 | 专利 | 许斌;尹德强;刘乾乾 |
| 7 | Surface profile measurement of microstructures with steep slopes by sample-titling strategy | 会议论文 | Xu Bin;Chen Wei;Huang Yubo;Kang Song;Zhao Shiping |
| 8 | 一种XYZ-β四维扫描探针微形貌测量系统 | 专利 | 许斌;赵世平;刘乾乾;陈伟;唐海容 |
| 9 | 一种基于多轴对称激光束的微探针尖端热成形系统 | 专利 | 许斌;殷鸣;方辉;殷国富 |
| 10 | 一种基于环形反射腔汇聚激光束的微探针尖端热加工装置 | 专利 | 许斌;刘乾乾 |
| 11 | 一种旋转均匀受热式微探针尖端热成形装置 | 专利 | 许斌;尹德强;刘乾乾 |
| 12 | A Method to Control Dynamic Errors of the Stylus-Based Probing System for the Surface Form Measurement of Microstructures | 期刊论文 | Fang Hui;Xu Bin;Yin Deqiang;Zhao Shiping |
| 13 | 微球探针制备工艺的优化 | 期刊论文 | 许斌;唐海容;赵世平;阳红 |
| 14 | A Slope-Adapted Sample-Tilting Method for Profile Measurement of Microstructures with Steep Surfaces | 期刊论文 | Fang Hui;Xu Bin;Chen Wei;Tang Hairong;Zhao Shiping |
| 15 | 一种微探针尖端成形激光加工系统 | 专利 | 许斌;赵世平;唐海容;刘乾乾;陈伟 |
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