基于MEMS技术的低损耗小步进可调太赫兹滤波器关键技术研究

61504124
2015
F0407.微纳机电器件与控制系统
张乃柏
青年科学基金项目
高级工程师
中国电子科技集团公司第五十四研究所
20万元
微电子机械系统;可调滤波器;太赫兹
2016-01-01到2018-12-31
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