高NA光刻投影物镜偏振像差的成像影响与检测方法研究
61741514
2017
F0508.应用光学
沈丽娜
应急管理项目
副教授
新疆师范大学
10万元
光刻；投影物镜；偏振像差；场定向泽尼克多项式
2018-01至2018-12
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