光栅剪切干涉Zernike模式法重建精度优化方法研究

61405210
2014
F0508.应用光学
戴凤钊
青年科学基金项目
副研究员
中国科学院上海光学精密机械研究所
25万元
波前重建;光学检测;干涉测量;波前测量;横向剪切干涉
2015-01-01到2017-12-31
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重置
序号 标题 类型 作者
1 Exact two-dimensional zonal wavefront reconstruction with high spatial resolution in lateral shearing interferometry 期刊论文 Dai Fengzhao;Li Jie;Wang Xiangzhao;Bu Yang
2 一种大尺寸二维平面光栅栅距检测方法 专利 郑亚忠;戴凤钊;步扬;王向朝;彭常哲
3 Multi field points wavefront aberration parallel measurement setup and method for lithography projection optics 专利 戴凤钊;王向朝;唐锋;郑亚忠
4 Orthonormal polynomials for annular pupil including a cross-shaped obstruction 期刊论文 Dai Fengzhao;Wang Xiangzhao;Sasaki Osami
5 超大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测方法 期刊论文 诸波尔;王向朝;李思坤;闫观勇;沈丽娜;段立峰
6 基于自相干莫尔条纹的光刻机对准技术研究 期刊论文 杜聚有;戴凤钊;步扬;王向朝
7 Zernike polynomials as a basis for modal fitting in lateral shearing interferometry: a discrete domain matrix transformation method 期刊论文 Dai Fengzhao;Zheng Yazhong;Bu Yang;Wang Xiangzhao
8 Piston error calibration of zonal reconstruction for a segmented wavefront in lateral shearing interferometry 期刊论文 Li Jie;Tang Feng;Wang Xiangzhao;Dai Fengzhao;Feng Peng
9 Calibration of system errors in lateral shearing interferometer for EUV-wavefront metrology 会议论文 Li Jie;Tang Feng;Wang Xiangzhao;Dai Fengzhao;Wu Feibin
10 Wavefront aberration measurement method for a hyper-NA lithographic projection lens based on principal component analysis of an aerial image 期刊论文 Zhu Boer;Wang Xiangzhao;Li Sikun;Yan Guanyong;Shen Lina;Duan Lifeng
11 Modal wavefront reconstruction based on Zernike polynomials for lateral shearing interferometry 期刊论文 Dai Fengzhao;Zheng Yazhong;Bu Yang;Wang Xiangzhao
12 Analysis of lateral shearing interferometry without self-imaging limitations 期刊论文 Li Jie;Tang Feng;Wang Xiangzhao;Dai Fengzhao;Zhang Heng
13 Digital phase shfting lateral shearing interferometer and wavefront aberration metrology method for optial system 专利 戴凤钊;王向朝;唐锋
14 Ronchi剪切干涉光刻投影物镜波像差检测技术研究 期刊论文 吴飞斌;唐锋;王向朝;李杰;李思坤
15 一种高精度、高空间分辨率的横向剪切干涉波前测量方法 专利 戴凤钊;王向朝
16 Ronchi相移剪切干涉仪及其相位提取误差分析 期刊论文 吴飞斌;唐锋;王向朝;李杰;李永
17 区域法重建遮拦波前的改进重建方法 专利 李杰;王向朝;唐锋;戴凤钊;吴飞斌;李永
18 波前传感器及波前测量方法 专利 李杰;唐锋;王向朝;戴凤钊
19 剪切干涉波前重建理论与技术 专著 徐德衍;王向朝;戴凤钊;曾爱军;孙建锋
20 Wavefront reconstruction for lateral shearing interferometry based on difference polynomial fitting 期刊论文 Li Jie;Tang Feng;Wang Xiangzhao;Dai Fengzhao;Feng Peng;Li Sikun
21 超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法 期刊论文 诸波尔;王向朝;李思坤;孟泽江;张恒;戴凤钊;段立峰
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