与CMOS工艺兼容的氧化铪基铁电薄膜材料的亚稳相及其存储器器件力学研究
11932016
2019
A0808.多场耦合与智能结构力学
周益春
重点项目
教授
西安电子科技大学
330万元
铁电材料；氧化铪；亚稳相；铁电存储器；器件力学
2020-01至2024-12
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