电子束光刻生成三维结构的研究
90307003
2003
F0406.集成电路器件、制造与封装
张玉林
重大研究计划
教授
山东大学
28万元
电子束直写;三维加工工艺;特种掩膜;系统集成
2004-01-01到2006-12-31
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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|---|---|---|
| 1 | 分析芯片微通道制作技术研究 | 期刊论文 | 魏守水*，张玉林，崔大付 |
| 2 | STM微位移工作台的遗传神经网络 | 期刊论文 | 魏 强，张玉林*，郝慧娟，卢文娟 |
| 3 | 电子束光刻固化液态树脂技术研究 | 会议论文 | 张玉林*，孔祥东，孙晓军，尹明 |
| 4 | 电子束重复增量扫描生成三维结构 | 期刊论文 | 郝慧娟，张玉林*，卢文娟，魏 强 |
| 5 | STM纳米工作台的神经网络PID控制 | 期刊论文 | 魏 强，张玉林* |
| 6 | 电子束重复增量扫描曝光方式的反 | 期刊论文 | 卢文娟，张玉林*，孔祥东，郝惠 |
| 7 | 扫描电化学显微镜扫描图像处理的 | 期刊论文 | 崔蕾，张玉林*，伍海龙 |
| 8 | 重复增量扫描方式生成曲面的电子 | 会议论文 | 张玉林*，宋会英，郝慧娟，魏守 |
| 9 | An Electron beam lithography f | 会议论文 | Zhang YuLin*, Hao Hui-Juan, W |
| 10 | 基于扫描隧道显微镜的纳米加工技 | 期刊论文 | 魏强, 张玉林*, 宋会英, 于欣蕾 |
| 11 | 扫描隧道显微镜精密工作台的神经 | 期刊论文 | 魏 强，张玉林*，于欣蕾，郝慧娟 |
| 12 | 电子束在MEMS加工中邻近效应的分 | 期刊论文 | 尹明*，张玉林，成建辉 |
| 13 | 微机电系统的微细加工技术 | 期刊论文 | 孔祥东，张玉林*，宋会英，卢文 |
| 14 | 微安培检测器的研制 | 期刊论文 | 张 欣，张玉林*，伍海龙，魏守水 |
| 15 | 细电子束Cockcroft-Walton加速器 | 期刊论文 | 尹明*，孙晓军 |
| 16 | 电子束曝光机偏转系统及可动物镜 | 期刊论文 | 尹明*，张玉林 |
| 17 | 电子束液态曝光技术研究 | 会议论文 | 孔祥东，张玉林*，卢文娟 |
| 18 | 电子束能量、剂量与光刻深度关系 | 会议论文 | 张玉林*，孔祥东，孙晓军，尹明 |
| 19 | 非线性曲线拟合法确定邻近效应参 | 期刊论文 | 郝慧娟，张玉林*，宋会英，魏 强 |
| 20 | 电子束能量、剂量对固化厚度影响 | 期刊论文 | 卢文娟,张玉林*,孔祥东 |
| 21 | 基于测控样板的微反应槽PCR芯片 | 期刊论文 | 李现明*，张玉林 |
| 22 | 电子束液态曝光技术的甩胶原理研 | 期刊论文 | 孔祥东，张玉林*, 卢文娟 |
| 23 | 细电子束像差与畸变参量非劣解中 | 期刊论文 | 尹明*，吕风杰，张其武 |
| 24 | 低能电子束对抗蚀剂曝光的Monte | 期刊论文 | 宋会英，张玉林*，孔祥东 |
| 25 | 电子束曝光中电子散射模型的优化 | 期刊论文 | 宋会英，张玉林*，魏强，孔祥东 |
| 26 | 电子束液态光刻技术的研究 | 会议论文 | 孔祥东，张玉林*，宋会英，卢文 |
| 27 | 微反应槽PCR芯片阵列前馈—串级 | 期刊论文 | 李现明*，张玉林，杨东营 |
| 28 | Improvement and Analysis of t | 会议论文 | Shoushui Wei*, Xing’eJiang, |
| 29 | 三维结构的邻近效应校正 | 期刊论文 | 郝慧娟，张玉林*，卢文娟，宋会 |
| 30 | Studies on Wehnelt of E-beam | 期刊论文 | YIN Ming*, ZHOU Xiao-Yan |
| 31 | 自适应控制在纳米加工微驱动器中 | 期刊论文 | 魏强，张玉林*，宋会英，于欣蕾 |
| 32 | 电子束静电折板偏转系统的研究 | 期刊论文 | 尹明*，金萍，孙晓军，柴杉 |
| 33 | 电子束真空辐射固化技术基础研究 | 期刊论文 | 孔祥东，孙晓军，张玉林*，宋会 |
| 34 | 基于低能电子束的光刻技术 | 期刊论文 | 魏强, 张玉林*, 宋会英 |
| 35 | MEMS的细电子束液态曝光技术研究 | 期刊论文 | 孔祥东,张玉林*,卢文娟 |
| 36 | 便携式PCR-CE微流体芯片分析仪控 | 期刊论文 | 王海峰，张玉林*，张海丽 |
| 37 | 基于电子束的LIGA技术研究 | 期刊论文 | 孔祥东，张玉林*，魏守水 |
| 38 | 高能电子束对抗蚀剂曝光的Monte | 期刊论文 | 宋会英，张玉林*，魏强，孔祥东 |
| 39 | 电子束光刻中的快速邻近效应校正 | 会议论文 | 郝慧娟 张玉林*，宋会英，魏 强 |
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