光刻成像的矢量场理论与技术研究

60878024
2008
F0506.激光
李劲松
面上项目
副教授
中国计量大学
30万元
焦深延拓;光刻技术;矢量光理论
2009-01-01到2011-12-31
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序号 标题 类型 作者
1 相位板偏振偏转角对径向偏振光的梯度力分布的影响 期刊论文
2 A <1 0 0> direction front-etched membrane structure for a micro-bolometer. 期刊论文
3 Focusing of radially polarized beam with radial cosine phase wavefront 期刊论文
4 Focal shift and focusing properties generation by radial cosine phase masks 期刊论文
5 Concentric piecewise azimuthally polarized beam by a pure phase plate 期刊论文
6 带有相位拓朴数的环形相位板调控高斯光束的梯度力 期刊论文
7 Dark focal spot shaping of hyperbolic-cosine-Gaussian beam 期刊论文
8 Effect of polarization on focal depth in high numerical apertures optical systems 期刊论文
9 Focusing properties of annular cylindrical vector beam indue by tunable mask 会议论文
10 Focusing properties of Gaussian beam with mixed screw and conical phase fronts 期刊论文
11 Cylindrical vector axisymmetric Bessel-modulated Gaussian beam 期刊论文
12 Tunable optical gradient trap by radial varying polarization Bessel-Gauss beam 期刊论文
13 Focusing property of the phase modulated radially polarized beam 会议论文
14 隔热结构中非晶硅的释氢机理与工艺研究 期刊论文
15 Focusing of concentric piecewise vector Bessel-Gaussian beam 期刊论文
16 A simple generation of tunable inhomogeneously polarized beam by half-wave plate 期刊论文
17 Focusing of hyperbolic-cosine-Gaussian beam with a spiral phase plate 会议论文
18 Focusing properties of cylindrical vectorial hollow Gaussian beam 会议论文
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