真空场发射三极管纳米沟道的制备及其对器件性能的调控机理研究
62004120
2020
F0408.新型信息器件
王晓
青年科学基金项目
副教授
陕西科技大学
24万元
真空微纳电子器件；场发射器件；纳米沟道；真空场发射三极管；平面底栅结构
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