非接触式MEMS电流电压集成传感器研究

61971398
2019
F0123.敏感电子学与传感器
郑凤杰
面上项目
副研究员
中国科学院空天信息创新研究院
59万元
MEMS;电流电压;微型三维感应线圈 ;非接触测量 ;集成传感器
2020-01至2023-12
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