含表面活性剂的清洗工艺对硅片表面的影响
60176032
2001
F0406.集成电路器件、制造与封装
曹宝成
面上项目
教授
山东大学
5万元
表面活性剂.微结构.薄栅氧化膜
2002-01-01到2002-12-31
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