用于光通信的SiO2/Si Al2O3/Si类有源无源波导器件的应用基础研究

69889701
1998
F0502.光子与光电子器件
胡雄伟
专项基金项目
研究员
中国科学院半导体研究所
80万元
硅基光波导.光通讯.波导光栅复用器
1999-01-01到2002-12-31
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