面向产业化MEMS传感器的表面微加工多层薄膜热学参数在线测试方法研究
62004061
2020
F0407.微纳机电器件与控制系统
刘海韵
青年科学基金项目
讲师
河海大学
24万元
MEMS测试；表面微加工技术；工艺控制监控；多层薄膜；热学参数在线测试
- 中英文摘要
- 结题摘要
- 结题报告
- 项目成果
- 项目参与人
查看更多信息请先登录或注册
查看更多信息请先登录或注册
查看更多信息请先登录或注册
未查询到项目成果
查看更多信息请先登录或注册
