超薄ZrO2栅介质NC-FinFET及其可靠性研究
91964202
2019
F0406.集成电路器件、制造与封装
刘艳
重大研究计划
教授
西安电子科技大学
300万元
FinFET；负电容
2020-01至2023-12
- 中英文摘要
- 结题摘要
- 结题报告
- 项目成果
- 项目参与人
查看更多信息请先登录或注册
查看更多信息请先登录或注册
查看更多信息请先登录或注册
未查询到项目成果
查看更多信息请先登录或注册
