光刻系统中工作台位移的长行程高精度双色差分干涉测量方法研究
61905245
2019
F0506.激光
刘兆武
青年科学基金项目
副研究员
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
24万元
双色法;位移测量;激光外差干涉仪;干涉测量;工作台测量
2020-01-01到2022-12-31
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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|---|---|---|
| 1 | Heterodyne period measurement in a scanning beam interference lithography system | 期刊论文 | Shan Jiang;Bo Lü;Ying Song;Zhaowu Liu;Wei Wang;Li Shuo;Bayanheshig |
| 2 | 一种长行程工作台精密位移分步测量方法和装置 | 专利 | 刘兆武;王玮;李文昊;姜珊;巴音贺希格;李烁 |
| 3 | Polarization-modulated grating interferometer by conical diffraction | 期刊论文 | Lin Liu;Zhanwu Liu;Shan Jiang;Wei Wang;Hongzhu Yu;Yanxiu Jiang;Wenhao Li |
| 4 | Grating-based precision measurement system for five-dimensional measurement | 期刊论文 | Qiang Lv;Wei Wang;Zhaowu Liu;Ying Song;Shan Jiang;Lin Liu;Bayanheshig;Wenhao Li |
| 5 | Active control technology of a diffraction grating wavefront by scanning beam interference lithography | 期刊论文 | Zhaowu Liu;Hang Yang;Yubo Li;Shan Jiang;Wei Wang;Ying Song;Bayanheshig;Wenhao Li |
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