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王伟文
面上项目
项目编号:
21276132 【年份:2012】
项目名称:
动态流态化多晶硅还原过程与无定形硅粉成核机理研究
资助金额:
82万
单位名称:
青岛科技大学
学科分类:
B0816.资源、环境与生态化工
参与者:
青岛科技大学
动态流态化多晶硅还原过程与无定形硅粉成核机理研究
项目批准号:
21276132
批准年份:
2012
学科分类:
B0816.资源、环境与生态化工
项目负责人:
王伟文
资助类别:
面上项目
负责人职称:
教授
依托单位:
青岛科技大学
资助金额:
82万元
关键词:
硅粉;多晶硅;化学气相沉积;机理;流态化
起止时间:
2013-01-01到2016-12-31
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