大努森数下微机械谐振器及滤波器的滑动膜分子阻尼模型

60806036
2008
F0407.微纳机电器件与控制系统
方玉明
青年科学基金项目
教授
南京邮电大学
20万元
微机械谐振器及滤波器;空气分子阻尼模型;滑动膜阻尼模型
2009-01-01到2011-12-31
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