微型溅射离子泵极小真空抽速精确测量机理及方法研究
61971209
2019
F0122.物理电子学
郭美如
面上项目
研究员
兰州空间技术物理研究所
55万元
真空计量；极小抽速；测量；耦合；不确定度
2020-01至2023-12
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