面向5G通信的铌酸锂单晶薄膜微机电谐振器的关键技术研究
62004029
2020
F0407.微纳机电器件与控制系统
涂程
青年科学基金项目
副研究员
电子科技大学
24万元
RF MEMS器件；谐振器；单晶铌酸锂薄膜；高Q值；频谱无杂散
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