C-MEMS制备硅基超级电容器三维微电极阵列关键问题研究
61674113
2016
F0407.微纳机电器件与控制系统
李刚
面上项目
副教授
太原理工大学
16万元
凝胶态电解质;MEMS超级电容器;三维微电极;光刻胶碳化;孔径调控
2017-01-01到2017-12-31
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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|---|---|---|
| 1 | Se掺杂对单层MoS2电子能带结构和光吸收性质的影响 | 期刊论文 | 李刚;陈敏强;赵世雄;李朋伟;胡杰;桑胜波;候静静 |
| 2 | 球状MoS_2/WO_3复合半导体制备及其对RhB的光催化性能 | 期刊论文 | 侯静静;赵清华;李廷鱼;胡杰;李朋伟;李刚 |
| 3 | 基于MEMS超级电容器的高介电常数CaCu 3Ti 4O12 薄膜制备及电学特性研究 | 期刊论文 | 李刚;高雅;赵清华;段倩倩;史建芳;王开鹰;孙伟 |
| 4 | 一种非对称超级电容器制备方法 | 专利 | 李刚;赵清华;张文栋;胡杰;桑胜波;马洋;李朋伟;菅傲群;段倩倩 |
| 5 | 一种基于炭化的超级电容器三维微电极的制备方法 | 专利 | 李刚;赵清华;胡杰;李朋伟;张文栋;李大维;桑胜波;菅傲群;段倩倩 |
| 6 | 基于SU-8光刻胶的三维微电极制备方法 | 专利 | 赵清华;史健芳;李刚;郭丽芳;李大维;张君慧;马洋;淡富奎 |
| 7 | 一种基于高介电常数薄膜的MEMS超级电容器及其制备方法 | 专利 | 赵清华;史健芳;李刚;高雅;段倩倩;乔学工 |
| 8 | TiO2/NiO三维叉指微电极及其制备方法 | 专利 | 郭丽芳;李刚;赵清华;张君慧;张文栋;桑胜波 |
| 9 | 复合半导体MoS_2/Cu_2O的制备及其光催化性能研究 | 期刊论文 | 侯静静;赵清华;李刚;李朋伟;胡杰 |
| 10 | 一种可增加MEMS超级电容器电极比表面积的斜光刻方法 | 专利 | 李刚;赵清华;胡文秀;李大维;张君慧;张文栋 |
| 11 | 一种加固碳化光刻胶与Si基底结合的凹槽刻蚀方法 | 专利 | 李廷鱼;李刚;赵清华;胡文秀;王娜;李朋伟;胡杰;张文栋 |
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