柔性布拉格反射层的声学特性研究

61471086
2014
F0123.敏感电子学与传感器
钟慧
面上项目
副教授
电子科技大学
85万元
压电材料;压电传感器;压电谐振
2015-01-01到2018-12-31
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序号 标题 类型 作者
1 薄膜体声波谐振器的热学分析 期刊论文 张睿;焦向全;马晋毅;钟慧;石玉
2 Preparation of sacrificial layer for MEMS devices by lift-off technology 期刊论文 Yang Jie;Shi Yu;Zhong Hui;Jiao Xiangquan;Zhang Rui;Du Bo
3 Deposition of Tungsten Thin Films on Flexible Polymer Substrates by Direct-Current Magnetron Sputtering 期刊论文 Zhang Rui;Huo Zhenxuan;Jiao Xiangquan;Zhong Hui;Shi Yu;Zhang R
4 一种新型薄膜体声波谐振器及其制备方法 专利 钟慧;霍振选;张睿;杨泰;秦康宁;石玉
5 一种压电薄膜体声波谐振器及其制备方法 专利 钟慧;杨泰;秦康宁;张晨;石玉
6 Molybdenum deposited on Si (111), SiO2, and amorphous Si through RF magnetron sputtering 期刊论文 Jiao Xiangquan;Yang Jie;Zhang Rui;Zhang Nan;Zhong Hui;Shi Yu
7 Compact bandpass filter with multiple transmission zeros using modified stepped-impedance resonators 期刊论文 Wu X. -H.;Wei X. -B.;Lv H. -G.;Shi Y.;Wei X. -B.;Wu XH
8 一种制备角度可控缓坡微结构的方法 专利 钟慧;秦康宁;张睿;霍振选;杨泰;张根;石玉
9 The Investigation of Sputtered Amorphous Silicon Films for MEMS and NEMS Applications 期刊论文 Du Bo;Jiao Xiangquan;Zhang Rui;Zhong Hui;Shi Yu;Du Bo;Ma Jinyi;Du B;Du B;Ma JY
10 Deposition of Molybdenum Thin Films on Flexible Polymer Substrates by Radio Frequency Magnetron Sputtering 期刊论文 Zhang Rui;Huo Zhenxuan;Jiao Xiangquan;Zhong Hui;Shi Yu;JieYang;Du Bo;Shi Y
11 一种压电薄膜体声波谐振器及其制备方法 专利 张睿;钟慧;成楠英;石玉;焦向全;赵宝林;何泽涛
12 The technology of planarizing sacrificial layer on wide cavity for MEMS devices 期刊论文 Du Bo;Shi Yu;Ma Jinyi;Xu Yang;Tian Benlang;Chen Jun;Du B
13 Study of tungsten deposited on amorphous Si, Si (111) and SiO2 using direct-current magnetron sputtering 会议论文 Zhang Rui;Jiao Xiangquan;Zhong Hui;Shi Yu
14 Characterizations of evaporated alpha-Si thin films for MEMS application 期刊论文 Jiao X. Q.;Zhang R.;Yang J.;Zhong H.;Shi Y.;Chen X. Y.;Shi J.
15 一种柔性压电薄膜体声波谐振器及其制备方法 专利 张睿;钟慧;焦向全;杨杰;石玉;赵宝林;何泽涛
16 AlN thin films deposited on different Si-based substrates through RF magnetron sputtering 期刊论文 Jiao Xiangquan;Shi Yu;Zhong Hui;Zhang Rui;Yang Jie
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